来?了！
众人振奋！
一组报告：“二氧化碳脉冲激光器无损，功率消耗在预估范围内，光线利用率成功达到2%！”
二组报告：“散热系统启动！散热功正常！”
三组报告：“传感器反馈激光和液滴?步对准，激光等离子体?在预估范围内捕获！”
组报告……
随着一个又?一个与仿真?预估无二的报告传入众人耳中，预示着光源系统设备实验验收圆满完成！
众人憋着一气没声，就等着盛明安总结。
盛明安不负众望，听完各组结果报告，对着扩音器宣布：“高阶光刻机光源系统技术研究项目圆满通过验收，”他稍稍提高音量，“我?的科研项目，激光等离子体?极紫外?光刻光源是——”
“13.5nm！”
原本想欢呼的众人脸上刚升起的笑容陡然僵住，瞳孔逐渐放大，呼吸急促，不敢置信，纷纷以为?己的耳朵坏了，他现?了幻听。
盛明安语气里流泻轻松的笑意：“恭喜大家。”
见众人没反应，他回头，疑惑：“你不满意吗？”
林成建也懵了，小心翼翼地询问：“盛工，你刚才13.5nm……不是16nm？”
?盛明安争论了将近半个月早已震惊过的程院长好笑地环顾众人表现?不一的样子。
雷客比林成建还小声轻柔：“比asml euv的14nm还精确了0.5nm？”
杜颂捂着心脏，喃喃道：“不是吧……我?整天研究的就是这?牛逼的玩意？”
助理姑娘掐得更?狠了，但杜颂激动的灵魂和兴奋的神经以抚平身?体?的疼痛。
“啊，”盛明安意识看向陈惊璆：“你都有异议吗？”
陈惊璆惊讶过后便是一笑：“没有异议。他惊喜过头了。”
盛明安又?看向林成建等人，谁知他面面相觑，陷入沉默，一秒、两秒、三秒……“啊啊啊啊——！！！”
猛然爆发的尖叫声继续震破实验室的天花板，要不是固化玻璃隔绝了噪声污染不会影响到实验室设备，热爱实验室设备的盛明安就该拉脸，而负责掏钱买设备的陈惊璆应该会冷脸赶人去了。
但无伤大雅的此刻，他纵容每一个团队成员尽情?放纵无以言表的兴奋和激动。
第70章 山巍[02] 挽狂澜！
光源系统设备验收阶段圆满完成,接来就是高阶光刻机的组装。
除了光源系统、双工作台系统和光学系统，余零件所需还有更精确的镜头组、反射镜，以及arf光刻胶等,国内暂时还没有研发来。
但这都不是问题。
因为最艰难的光源系统和双工作台系统已经被圆满攻破,剩的arf光刻胶等技术要求很高,相对来说，难度系数不是特别大。
林成建也很兴